高可靠陶瓷封装技术在MEMS气体传感器中的应用

摘要

技术开发单位中国电子科技集团公司第五十八研究所技术简介MEMS气体传感器是利用半导体气敏元件与气体接触会造成半导体的电导率等物理性质发生变化的原理来检测特定气体的成分或浓度的传感器。