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机译:兼容IC的聚对二甲苯MEMS技术及其在集成传感器中的应用
公开/公告号US6511859B1
专利类型
公开/公告日2003-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY;
申请/专利号US20000523399
发明设计人 XUAN-QI WANG;FUKANG JIANG;YU-CHONG TAI;ZHIGANG HAN;
申请日2000-03-10
分类号H01L210/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 00:05:05
机译: 兼容IC的对二甲苯MEMS技术及其在集成传感器中的应用