公开/公告号EP1186002A1
专利类型
公开/公告日2002-03-13
原文格式PDF
申请/专利号EP20000913858
发明设计人 HAN ZHIGANGCALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY;JIANG FUKANGCALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY;WANG XUAN-QICALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY;TAI YU-CHONGCALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY;
申请日2000-03-10
分类号H01L21/00;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 00:33:47