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目录
第一章 绪论
§1.1 引言
§1.2 课题研究背景及意义
§1.3 课题国内外研究现状
§1.4 课题研究思路及技术路线
§1.5 课题主要研究内容
第二章 MEMS倾角传感器模型介绍和基本理论
§2.1 制造过程
§2.2 工作原理概述
§2.3 工作原理的有限元模拟
§2.4 本章小结
第三章 MEMS倾角传感器的热灵敏度分析
§3.1理论基础
§3.2气体介质的选择
§3.3灵敏度最大处位置的确定
§3.4热源温度对MEMS倾角传感器灵敏度的影响
§3.5气压对MEMS倾角传感器灵敏度的影响
§3.6本章小结
第四章 MEMS倾角传感器的热优化设计
§4.1优化试验设计
§4.2封装体外形优化
§4.3热—结构耦合分析
§4.4本章小结
第五章 PCB布局对MEMS倾角传感器热分布影响的实验探究
§5.1实验设计
§5.2 实验结果与分析
§5.3 优化传感器PCB布局的措施
§5.4本章小结
第六章 总结与展望
§6.1全文总结
§6.2后续研究和展望
参考文献
致谢
作者在攻读硕士期间的主要研究成果