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张福学; 赵启凤; 岳萍; 郭亨;
北京信息科技大学传感技术研究中心;
气体摆; 微机械; 加速度计; 倾角传感器;
机译:用于微化学反应器的微机械薄膜气体流量传感器
机译:用于微机械气体传感器的微加热器的热特性
机译:微滴涂层气体传感器的热机械分析
机译:基于新型光学结构的等倾角干涉二维微位移传感器
机译:高性能微机械隧道加速度计的设计,微制造和控制。
机译:摆式异芯光纤加速度计用于低频振动监测
机译:MEMS加速度计的工业倾角仪振动优化的一种新技术,无传感器融合
机译:小型低温透平机械用气体润滑摆式轴承轴承的分析与设计
机译:光学加速度计,光学倾角仪和使用这种加速度计和倾角仪的地震传感器系统
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