化学气相沉积金刚石薄膜生长动力学模型

摘要

基于金刚石薄膜气相生长的表面反应机理，提出了一个动力学模型；建立了描述金刚石生长与无序碳沉积相互竞争机制的动力学演化方程；通过讨论该动力学方程的稳态解，细致刻划了不同Ｃ／Ｈ流比率条件下金刚石与无序碳的竞争生长过程。本模型的理论结果与实验数据的对比表明，它可以用于实际金刚石薄膜生长过程的研究，为生长工艺参数的优化提供理论基础。