化学气相沉积单晶金刚石膜同质外延生长过程的动力学蒙特卡罗仿真:原子尺度三维动态可视化图像模型

摘要

本文运用经作者改进后的动力学Monte Carlo仿真方法,通过自行编制的具有独立自主产权的算法及Visual C软件模块,对原子尺度的CVD单晶金刚石膜垂直于{111}、{110}和{100}晶面的同质外延生长过程进行了仿真研究,获得了三种情况下的金刚石薄膜生长的原子尺度三维动态可视化图像模型.