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陈新安; 黄庆安;
绍兴文理学院微电子实验室;
东南大学MEMS教育部重点实验室;
Si/Si直接键合; 界面应力; 模型; 模拟;
机译:基于GaAs // Si键合界面对GaAs // Si键合界面的影响及其应用
机译:使用线性退火方法直接键合Si晶片-(I)Si ?? Si键合
机译:利用Ne快速原子束的表面平滑效应表征通过室温Si晶片直接键合制备的键合界面
机译:预键合热处理对直接Si-Si亲水性晶圆键合中键合界面演化的影响
机译:在二氧化硅(SiO(2))上直接离子束沉积多晶硅(poly-Si)的计算机模拟。
机译:基于空间域与形态相结合的红外激活等离子体激活Si-Si键合界面的研究
机译:直接键合Si / Si界面的FTIR和XPS分析
机译:Ti / si和Ti /氧/ si界面的化学键合和反应
机译:使用亲水性硅表面的准疏水性Si-Si晶圆键合和界面键合氧化物的溶解
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