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陈松岩; 谢生; 何国荣;
厦门大学物理系;
硅; 直接键合; 红外透射谱; X射线光电子谱;
机译:基于GaAs // Si键合界面对GaAs // Si键合界面的影响及其应用
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机译:预键合热处理对直接Si-Si亲水性晶圆键合中键合界面演化的影响
机译:铜与氧化铝和氮化铝直接键合的界面结构,工艺控制和粘合强度。
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机译:Ti / si和Ti /氧/ si界面的化学键合和反应
机译:使用亲水性硅表面的准疏水性Si-Si晶圆键合和界面键合氧化物的溶解
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