硅外延生产中SPC技术的研究成果

摘要

统计过程控制技术是以数理统计为基础,通过生产数据统计分析,对生产过程是否处于统计受控状态做出定量结论。控制图本身只是一种工具或手段,绘制控制图的目的在于管制制程在我们所期望的范围内,合乎经济原则来生产产品。文章通过在硅外延生产中采用科学的SPC监控案例,实现质量诊断、质量改进、质量评价的功能,最终达到了改善产品质量、提高生产效率和经济利润的目的。