利用液相外延技术制作微型硅构件的方法

摘要

利用液相外延技术制作微型硅构件的方法，先将衬底硅片氧化，然后在氧化膜上开出所需构件形状的窗口，露出硅底层，将硅片浸入经硅饱和的金属熔体中，利用硅液相外延法在窗口上外延生长硅构件。由于外延构件与硅衬底电阻率的不同，通过化学腐蚀将构件与衬底分离，由此即可制造所需形状的微型硅的构件，而且所用的衬底可以重复使用，使硅材料的利用率大大提高。