利用电铸技术制作新型微型惯性传感器

摘要

电镀技术在超微细加工及微电子机械系统（MEMS）领域有十分重要的应用，该文介绍利用电铸技术，在硅基上用镍材料制作一种新型微型惯性传感器。该器件的总长度2750μm，梁的长度和宽度分别为1430μm和25μm，质量块的宽度为400μm，器件电容的固定极和移动极之间的间距为4μm，微模具厚为200μm，质量块形状为“王”字形。电镀液由氨基磺酸镍（350g/L）和硼酸（40g／L）加少量的润湿剂（0．2℅）组成，工作温度为52℃。