金属有机物热分解工艺制备PLZT铁电薄膜的晶化过程及其电性能研究

摘要

采用ＭＯＤ法制备了ＰＬＺＴ铁电薄膜。通过ＤＴＡ研究了ＰＬＺＴ粉末和薄膜的晶化动力学。ＭＯＤ法制备的ＰＬＺＴ材料，在４２０－５７０℃的温度范围内由非晶结构向钙钛矿结构转化，其粉体和薄膜的晶化活化能Ｅα分别为５５ｋＪ／ｍｏｌ和７０ｋＪ／ｍｏｌ，频率因子γ分别为４５０ｓ＾－１和１．４×１０＾４ｓ＾－１。薄膜从非晶态向钙钛矿相的转化过程中要经过亚稳的焦绿石相的过渡，其Ｅ和γ分别为１４３ｋＪ／ｍｏｌ和７．９