金属有机物热分解法制备Bi_4Ti_3O_(12)薄膜的工艺研究

摘要

由硝酸铋和钛酸丁酯原料出发，采用金属有机物热分解法（ＭＯＤ）制备了铁电钛酸铋薄膜；对先体溶液进行了红外光谱和差热分析，研究了旋转甩胶工艺和烧结温度与膜厚的关系．由Ｘ射线衍射和扫描电子显微镜分析了薄膜的物相和断面形貌，得到：在４５０～６５０℃较低烧结温度下即可合成钛酸铋致密多晶薄膜．薄膜厚度随烧结温度增高而减小，在５００～６５０℃范围内基本呈线性，温度每增高５０℃膜厚减小约５％．