金属有机物热分解法制备锆钛酸铅薄膜研究

摘要

采用金属有机物热分解（ＭＯＤ）法，通过对原料的提纯和合成工艺的优化，消除原料中的微量杂质，控制环境温度，从而获得了透明、稳定的锆钦酸铅先体溶液．锆铁酸铅先体溶液经过多次成膜，在Ｐｔ／ＳｉＯ２／Ｓｉ基片上制备出厚度为０．６ｕｍ，均匀、无裂纹、无针孔的薄膜．经５５０℃保温处理后，得到假立方晶系的钙钦矿结构的薄膜．借助扫描电镜形貌分析表明，其晶粒大小约为２～３μｍ．