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公开/公告号CN215856326U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院西安光学精密机械研究所;
申请/专利号CN202121483172.0
发明设计人 李林森;刘哲;盛立志;强鹏飞;周晓红;赵宝升;
申请日2021-06-30
分类号C23C18/12(20060101);
代理机构61211 西安智邦专利商标代理有限公司;
代理人史晓丽
地址 710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
入库时间 2022-08-23 04:55:34
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