溶胶-凝胶法制备(PLZT)铁电薄膜及掺杂对介电性能的影响

摘要

用改进的Sol-Gel法在N型（110）Si片上制备出表面平整，无龟裂的PLZT铁电薄膜，研究了影响薄膜显微结构与电学性能的工艺参数，从中优化出最佳的工艺参数。研究表明溶胶液中乙酰丙酮分子是烯醇式结构，而且是通过它的一个氧原子以单齿配位的方式与金属成键。它能较好地控制溶胶中的水解。铁电薄膜在硅片上以多晶形态存在，是典型的钙钛矿型结构，有明显的择优取向。掺杂La、Zr可以提高材料的介电常数，同时增加介电损耗。