柔性钇钡铜氧/哈氏合金衬底上PLZT铁电薄膜及其制备方法

摘要

本申请公开了一种柔性钇钡铜氧/哈氏合金衬底上PLZT铁电薄膜及其制备方法，其中PLZT铁电薄膜的化学式为：Pb1‑xLax(ZryTi1‑y)O3，制备方法包括如下步骤：a.将三水合乙酸铅(Pb(CH3COO)2·3H2O)、硝酸镧(La(NO3)3)、钛酸四正丁酯(Ti(OC4H9)4)和正丙醇锆(Zr(OC3H7)4)按照化学计量比称量，溶解于乙二醇甲醚(2‑MOE)之中；b.将步骤a所得的混合液加入去离子水和乙酸，得到PLZT溶胶；c.将所述PLZT溶胶旋涂在热处理后的钇钡铜氧/哈氏合金衬底上，得到湿膜；d.将步骤c所得湿膜置于烘胶台上干燥，随后进行热处理，得到PLZT铁电薄膜。本申请提供的PLZT/钇钡铜氧/哈氏合金多层铁电薄膜介电、铁电性能优异，具有较强的形变能力，在柔性电子领域具有优异的应用前景。