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宋竞; 黄庆安; 唐洁影;
东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;
MEMS; 热致封装效应; 单元库法; 节点分析法;
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机译:栅极氧化层和MEMS器件级封装中高级电介质的可靠性。
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