热丝CVD方法生长金刚石薄膜中石墨成份控制

摘要

在用热丝ＣＶＤ方法生长金刚石薄膜中，研究了生长条件对制备膜中石墨和非晶碳成份的影响，发现较高的碳源浓度或较低的衬底温度会使制备膜中非金刚石相碳成份增加。