热丝CVD生长金刚石薄膜研究

摘要

本文研究了热丝ＣＶＤ方法生长金刚石薄膜过程中，衬底表面的损伤处理对金刚石薄膜光学性能的影响，以及膜中非本征杂质吸收对其红外光学特性的影响。