Microcrystalline silicon; Integrated distributed electron cyclotron resonance; Plasma enhanced chemical vapour deposition;
机译:使用矩阵分布电子回旋共振PECVD反应器沉积用于集成光学应用的掺Ge的二氧化硅薄膜
机译:离子能量对基质分布电子回旋共振等离子体反应器中沉积的本征微晶硅层结构和电性能的影响
机译:通过使用SiF4 / H-2化学物质的基质分布电子回旋共振等离子体沉积微晶硅薄膜增强了化学气相沉积
机译:在集成的分布式电子回旋谐振粘合剂PECVD反应器中沉积微晶硅
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:矩阵分布电子回旋共振等离子体高速沉积微晶硅薄膜和太阳能电池的工艺和材料挑战
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积法研究氮等离子体不稳定性及氮化硅的生长