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翁秀章; 周炳卿; 谷鑫;
内蒙古师范大学物理与电子信息学院功能材料物理与化学自治区重点实验室;
非晶硅薄膜; PECVD; 微晶硅薄膜; 微结构;
机译:超光滑电子束蒸发非晶硅薄膜-用于MEMS应用的PECVD非晶硅薄膜的可行替代品
机译:在低温(300℃)化学气相沉积工艺中采用氢等离子体和硅自由基的新型双注入系统沉积微晶/非晶硅薄膜
机译:连续激光诱导EBE和PECVD沉积非晶硅薄膜的晶化
机译:使用具有高沉积速率的动态VHF-PECVD工艺进行非晶硅钝化层和P型微晶层和P型微晶层的方法
机译:氢化非晶硅,微晶硅和硅基合金薄膜的沉积和表征。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:用ECR-pECVD技术高效生长水解非晶硅锗薄膜和器件
机译:包含导电衬底的存储器件,其上沉积有非晶或微晶硅碳合金层和非晶或微晶含硅材料层
机译:非晶硅膜的制造工艺,非晶硅氮化膜的制造方法,微晶硅膜的制造方法以及非单晶半导体装置
机译:感应耦合化学气相沉积法,非晶硅薄膜,氮化硅薄膜和使用瑟勒夫制成的非晶薄膜晶体管
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