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PECVD法; 二氯甲硅烷; 硅; 薄膜; 非晶硅; 微晶硅;
机译:使用用于硅薄膜太阳能电池的高密度微波等离子体源从SiH2Cl2快速沉积微晶硅膜
机译:LF-PECVD沉积SiH4 / N2的非晶氮化硅膜的特性
机译:VHF-PECVD在SIF4 / SIH4 / H2等离子体中微晶硅膜的晶体控制
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:前驱体C2H2分数对磁控溅射沉积制备的含Si和Ag的非晶碳复合膜的组织和性能的影响
机译:氧化硅膜在氧化硅膜中微晶硅膜的化学气相沉积中界面非晶层去除氢等离子体的影响
机译:高效非晶和微晶硅基双结太阳能电池,采用超高频辉光放电,第一阶段,最终技术报告,2002年8月21日至2003年5月20日。
机译:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积共形非晶碳膜的方法
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