RFプラズマ CVDによる TiB系硬質膜の製膜と評価

摘要

金型や切削工具などの表面には耐摩耗性向上を目的 としたTiNやTiCN等のTi系硬質膜コーティングが施 されているが、耐食性·離型性·低摩耗·耐熱性に 優れた新規 Ti 系硬質膜コーティング技術が求められ ている。一方、二ホウ化チタン(TiB2)は高融点·高 い熱安定性、高硬度であり、材料加工用の金型コー ティング材として非常に有望であるが脆さ、密着性改 善などに問題がある。特に、TiB2 は溶融アルミニウム に対して極めて優れた耐食性を有し、アルミニウム鋳 造に用いられる部材にコーティングできれば、寿命を 大幅に延ばすことが可能である3) 。