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马胜利; 徐可为;
西安交通大学;
等离子体化学气相沉积; 硬质膜; 成膜理论;
机译:低温成膜硬碳薄膜由等离子体各向异性化学气相沉积
机译:在In0.82Al0.18As上通过电感耦合等离子体化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积生长的氮化硅膜的界面特性
机译:Ar稀释对通过等离子体增强化学气相沉积法沉积的氢化硬碳膜的弹性和结构性能的影响
机译:使用TMOS / O / Sub 2 / Su / Su / Sir和等离子体诊断增强氧化硅膜和氮氧化硅膜的化学气相沉积的等离子体增强了化学气相沉积
机译:晶格匹配的III-V / IV组半导体异质结构:金属有机化学气相沉积和远程等离子体增强化学气相沉积。
机译:通过电感耦合等离子体辅助化学气相沉积法将废猪油循环成垂直石墨烯片
机译:电感耦合等离子体化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积技术的GaN / AlGaN Hemts钝化性能分析
机译:通过微波等离子体辅助化学气相沉积在高温下高生长率同质外延金刚石膜沉积
机译:通过等离子体化学气相沉积形成沉积膜的方法和通过等离子体化学气相沉积形成沉积膜的设备
机译:化学方法气相沉积的液体材料,化学方法气相沉积成膜的方法以及化学方法气相沉积的设备
机译:等离子体化学气相沉积法制成的化学气相沉积化学气相沉积膜
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