Accelerated Aging; MEMS Reliability; Physics of Failure;
机译:用于评估MEMS器件可靠性的失效机制的新型关联模型
机译:静电驱动MEMS器件中电介质的器件和可靠性物理综述
机译:氮化硅中电荷弛豫对静电驱动电容性MEMS器件可靠性的研究
机译:如何在没有标准的情况下评估MEMS器件的可靠性
机译:栅极氧化层和MEMS器件级封装中高级电介质的可靠性。
机译:非线性振动冲击过程提高接触式MEMS装置可靠性的数值分析
机译:基于悬臂的MEMS设备在恶劣环境中的可靠性和疲劳分析