vacuum packaging; MEMS; wafer bonding; outgassing; getter;
机译:通过小面积和超薄MEMS封装的硅盖转移键合进行晶圆级真空密封
机译:晶圆级真空密封通过将硅盖的转移键合用于小型占地面积和超薄MEMS封装
机译:基于晶圆级真空封装的MEMS谐振器的高分辨率应变传感器的制造
机译:用于MEMS应用的真空晶圆级包装
机译:设计,制造和测试用于RF MEMS器件的保形,局部晶圆级封装。
机译:基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器
机译:具有大冲程的晶圆级真空包装的译文,适用于NIR-FT光谱仪