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Conference on micromachining and microfabrication process technology
Conference on micromachining and microfabrication process technology
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1.
Three dimensional polymer MEMS with functionalized carbon nanotubes by microstereolithography
机译:
用微型光刻用官能化碳纳米管的三维聚合物MEMS
作者:
Vijay K. Varadan
;
J. Xie
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
2.
Microjoining of dissimilar materials for optoelectronic and biomedical applications
机译:
用于光电和生物医学应用的多种材料的微生物
作者:
Reiner Witte
;
Hans J. Herfurth
;
Ingo Bauer
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
laser micromachining;
glass;
silicon;
sapphire;
polymers;
implantable microsystems;
3.
Inverse model for optimizing the process of fabricating a microstructure by Laser Chemical Vapor Deposition
机译:
用于优化通过激光化学气相沉积制造微结构的过程的逆模型
作者:
Chaoyang Zhang
;
Weizhong Dai
;
Raja Nassar
;
Hong Lan
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
laser-induced chemical vapor deposition (LCVD);
inverse model;
scanning pattern;
three dimensional numerical simulation;
4.
High-aspect ratio microfabrication of crosslinked polytetra-fluoroethylene using synchrotron radiation direct photo-etching
机译:
使用同步辐射直接光蚀刻的交联聚四氟乙烯的高纵横比微制造
作者:
Takanori Katoh
;
Yasunori Sato
;
Daichi Yamaguchi
;
Shigetoshi Ikeda
;
Yasushi Aoki
;
Akihiro Oshima
;
Masakazu Washio
;
Yoneho Tabata
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
PTFE;
synchrotron radiation;
high-aspect ratio;
direct etching;
MEMS;
crosslinking;
microfabrication;
5.
Microfabrication services at INO
机译:
INO的微型制造服务
作者:
Christine Alain
;
Hubert Jerominek
;
Patrice Topart
;
Timothy D. Pope
;
Francis Picard
;
Felix Cayer
;
Carl Larouche
;
Sebastien Leclair
;
Bruno Tremblay
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
MEMS foundry;
microelectroforming;
microphotonic;
thick resist;
micromirrors;
IR bolometers;
bulk and surface micromachining;
wafer level packaging;
6.
Generation and application of opto-mechanical microstructures on glass
机译:
光学机械微观结构在玻璃上的产生与应用
作者:
Volker Schmidt
;
Winfried Arens
;
Ulrich Kriems
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
microstructures;
ion beam etching;
sand blasting;
deep drawing;
7.
Processable high carbon-yielding polymer for micro- and nanofabrication
机译:
用于微型和纳米制备的加工高碳产量聚合物
作者:
Mark W. Perpall
;
Huseyin Zengin
;
K. Prasanna U. Perera
;
Wensheng Zhou
;
Hiren Shah
;
Xinyu Wu
;
Stephen E. Creager
;
Dennis W. Smith
;
Stephen H. Foulger
;
John Ballato
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
bis-ortho-diynyl arene (BODA);
processable carbon precursor polymer;
micro-transfer molding;
photonic crystal;
inverse carbon opal;
8.
Sacrificial layer for the fabrication of electroformed cantilevered LIGA microparts
机译:
用于制备电铸悬臂的LIGA微珠的牺牲层
作者:
Alfredo M. Morales
;
Georg Aigeldinger
;
Michelle A. Bankert
;
Linda A. Domeier
;
John Hachman
;
Cheryl Hauck
;
Patrick N. Keifer
;
Karen L. Krafcik
;
Dorrance E. McLean
;
Peter C. Yang
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
LIGA;
electro forming;
sacrificial layer;
PMMA;
metal-filled polymer;
9.
Design Rules for Fabrication of Binary Half Tone Masks Used for MEMS and Photonic Devices
机译:
用于MEMS和光子器件的二元半色调面罩的制造设计规则
作者:
Peter Rhyins
;
Christopher Progler
;
Glenn S. Claydon
;
Ernest W. Batch
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
10.
Expansion of SU-8 application scope by PAG concentration modification
机译:
通过PAG浓度修改扩展SU-8应用范围
作者:
Zhong-geng Ling
;
Kun Lian
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
SU-8 modification;
PAG concentration;
minimum bottom dose;
PEB temperature and time;
UV absorption;
11.
A new process to fabricate DXRL x-ray mask by direct pattern writing
机译:
通过直接图案写入制造DXRL X射线面罩的新过程
作者:
Zhong-geng Ling
;
Kun Lian
;
Shirong Wen
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
x-ray mask;
DXRL;
UDXRL;
direct pattern writing;
mask membrane;
x-ray absorber;
12.
Double-sided MEMS mirror for L-switching Matrix
机译:
用于L切换矩阵的双面MEMS镜
作者:
T.W. Yeow
;
K.L.E. Law
;
A.A. Goldenberg
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
micromachining;
microfabrication;
MEMS;
MOEM;
DRIE;
RIE;
SOI;
optical switch;
mirror;
13.
Novel Micromolded Structures
机译:
新型备胶质结构
作者:
J.G.Fleming
;
Seethambal S. Mani
;
Michael S. Baker
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
micromolding;
tungsten MEMS;
silicon nitride MEMS;
trench etch;
14.
Performance enhancement and evaluation of deep dry etching on a production cluster platform
机译:
生产集群平台深处蚀刻的性能增强与评价
作者:
Mark McNie
;
Christopher Pickering
;
Alexandra Rickard
;
Iain Young
;
Janet Hopkins
;
Huma Ashraf
;
Serrita McAuley
;
Glenn Nicholls
;
Richard Barnett
;
Fred Roozeboom
;
Anton Kemmeren
;
Eric van den Heuvel
;
Jan Verhoeven
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
MEMS;
microsystems;
manufacturing;
silicon;
SOI;
deep dry etching;
DRIE;
ICP;
high aspect ratio;
micromachining;
15.
Fabrication of Planar Grating by direct ablation using Ultrashort Pulse Laser with a novel optical configuration
机译:
用小型光学配置使用超短脉冲激光直接消融平面光栅的制造
作者:
N. R. Sivakumar
;
K. Venkatakrishnan
;
B. Tan
;
B. K. A. Ngoi
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
optical system design;
interference;
planar gratings;
ultrafast lasers;
direct ablation;
industrial applications;
16.
Plasma etching of polymers like SU8 and BCB
机译:
等离子体蚀刻SU8和BCB等聚合物
作者:
Helge Mischke
;
Gabi Gruetzner
;
Mark Shaw
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
SU8;
BCB;
plasma etching;
polymer removing;
residues;
electroforming;
17.
Fabrication of a porous membrane for the Gas Pre-Combustion
机译:
用于气体预燃烧的多孔膜的制造
作者:
Joerg Stuermann
;
Andre Boedecker
;
Alexandra Splinter
;
Wolfgang Benecke
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
membrane reactor;
porous silicon;
microreactor;
porous membrane;
heterogeneous catalyst;
CO oxidation;
gas pre-processing μTAS;
18.
Depth And Surface Roughness Control On Laser Micromachined Polyimide For Direct-Write Deposition
机译:
用于直接写入沉积的激光微机械聚酰亚胺的深度和表面粗糙度控制
作者:
B. Pratap
;
C.B. Arnold
;
A. Pique
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
pulsed laser micromachining;
laser forward transfer;
polyimide;
19.
High-aspect-ratio microstructures for magnetoelectronic applications
机译:
磁电应用的高纵横比微结构
作者:
Tao Wang
;
Andrew B. McCandless
;
Sean Ford
;
Kevin W. Kelly
;
Richard Lienau
;
Dale Hensley
;
Yohannes Desta
;
Zhong G. Ling
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
HARM;
aligned x-ray lithography;
x-ray mask;
electrodeposition;
NiFe;
multilevel ferromagnetic device;
20.
Novel micro-machining method basing on AFM and high accuracy stage
机译:
基于AFM和高精度阶段的新型微加工方法
作者:
Yongda Yan
;
Tao Sun
;
Shen Dong
;
Kai Cheng
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
atomic force microscope (AFM);
micro-parts;
high accuracy stage;
21.
+Wafer thinning for high-density, through-wafer interconnects
机译:
+晶片稀疏,用于高密度,通过晶片互连
作者:
L. Wang
;
C. C. G. Visser
;
C. de Boer
;
M. Laros
;
W. van der Vlist
;
J. Groeneweg
;
G. Craciun
;
P. M. Sarro
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
wafer thinning;
lapping;
chemical-mechanical polishing;
through-wafer interconnects;
22.
Optimization of EDP solutions for feature size independent silicon etching
机译:
特征尺寸独立硅蚀刻EDP解决方案的优化
作者:
C. Yellampalli
;
K. N. Bhat
;
N. DasGupta
;
A. DasGupta
;
P. R. Rao
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
anisotropic etching;
EDP solutions;
micromachining;
MEMS;
etch rate;
hillock density;
23.
Bi/In as Patterning and Masking Layers for Alkaline-Based Si Anisotropic Etching
机译:
Bi /作为碱性Si各向异性蚀刻的图案化和掩蔽层
作者:
Yuqiang Tu
;
Glenn Chapman
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
micromachining;
anisotropic etching;
TMAH etching;
etching mask;
thermal resist;
24.
MEMS and MOEMS for National Security Applications
机译:
用于国家安全应用的MEMS和MOEMS
作者:
Marion Scottauthor_name/
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
MOEMS;
MEMS;
microsystems;
national security;
defense;
market strategy;
commercialization roadmap;
25.
Chemical Mechanical Planarization: an effective microfabrication and micromachining technology for MEMS
机译:
化学机械平面化:MEMS的有效微生物和微机械化技术
作者:
Juikun Lee
;
Ronald Myers
;
Tina Dear
;
Carl Gensler
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
CMP;
planarization;
polymer;
metal;
ceramic;
26.
A modular process for integrating thick poly silicon MEMS devices with sub-micron CMOS
机译:
用子微米CMOS集成厚聚硅MEMS器件的模块化过程
作者:
John Yasaitis
;
Michael Judy
;
Tim Brosnihan
;
Peter Garone
;
Nikolay Pokrovskiy
;
Debbie Sniderman
;
Scott Limb
;
Roger Howe
;
Bernhard Boser
;
Moorthi Palaniapan
;
Xuesong Jiang
;
Sunil Bhave
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
MEMS IC integration;
selective epi;
CMP;
surface micromachining;
deep si etch;
27.
Application of the Technology of the Excimer Laser Etching to Fabricate the Three-Dimensional Microstructures
机译:
准分子激光蚀刻技术的应用制造三维微结构
作者:
Jingqiu Liang
;
Zichun Le
;
Jinsong Yao
;
Yushu Zhang
;
Shurong Wang
;
Ping Zhang
;
Yihui Wu
;
Ming Xuan
;
Lijun Wang
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
excimer laser;
direct etching;
adhering mask;
28.
Vacuum wafer-level packaging for MEMS applications
机译:
用于MEMS应用的真空晶圆级包装
作者:
Stephane CAPLET
;
Nicolas SILLON
;
Marie-Therese DELAYE
;
Pascale BERRUYER
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
vacuum packaging;
MEMS;
wafer bonding;
outgassing;
getter;
29.
MODELING OF SECONDARY RADIATION DAMAGE IN LIGA PMMA RESIST EXPOSURE
机译:
LIGA PMMA抗蚀剂抗蚀剂次级辐射损伤的建模
作者:
Aili Tingauthor_name/
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
LIGA;
resist exposure;
secondary radiation damage;
undercutting;
substrate metalization;
30.
SU-8 based deep x-ray lithography/LIGA
机译:
基于SU-8深X射线光刻/ LIGA
作者:
Linke Jian
;
Yohannes M. Desta
;
Jost Goettert
;
Martin Bednarzik
;
Bernd Loechel
;
Jin Yoonyoung
;
Georg Aigeldinger
;
Varshni Singh
;
Gisela Ahrens
;
Gabi Gruetzner
;
Ralf Ruhmann
;
Reinhard Degen
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
SU-8;
X-ray lithography;
3D-lithography;
MEMS;
LIGA;
31.
Thermo- and galvanomagnetic properties of heterophase materials at high pressure
机译:
高压异相材料的热和镀锌性能
作者:
Vladimir V. Shchennikov
;
Sergey V. Ovsyannikov
;
Grigorii V. Vorontsov
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
heterostructures;
diamond probes;
thermoelectric power;
variable inclusion configuration;
semiconductor micro-devices;
quality control;
high pressures;
Nernst-Ettingshausen effects;
32.
Mathematical model for simulating axisymmetric rod growth with kinetically limited and mass transport limited rates
机译:
用于模拟轴对称棒的数学模型,具有动力学限制和大规模运输有限速率
作者:
Hong Lan
;
Raja Nassar
;
Weizhong Dai
;
Chaoyang Zhang
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
Laser-induced chemical vapor deposition (LCVD);
mass transport limited reaction;
kinetically limited reaction;
mathematical modeling;
33.
European MEMS Foundries
机译:
欧洲MEMS铸造厂
作者:
Patric R. Salomonauthor_name/
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
MEMS;
MST;
MPW;
fab;
foundry;
manufacturing;
silicon;
europractice;
microsystem;
micromachining;
34.
Novel MEMS technology based silicon and polymer hybrid actuator and applications as a tunable filter in telecom and in IR chemical detector
机译:
基于新型MEMS技术的硅和聚合物混合致动器及其作为电信和IR化学检测器中的可调滤波器的应用
作者:
Ping Li
;
Kusol Lee
;
Weijie Wang
;
Jon Peters
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
actuator;
MEMS;
MOEMS;
compliant-MEMS;
micro fabrication;
tunable filter;
Fabry-Perot;
tunable laser;
IR detector;
chemical detector;
35.
Quartz Substrate Infrared Photonic Crystal
机译:
石英衬底红外光子晶体
作者:
Khosrow Ghadiri
;
Jalel Rejeb
;
Vladimir Vitchev
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
planar photonic crystal (p~2c);
infrared spectrum operation;
optical micro-cavity;
finite-difference time-domain;
photonic band gap (PBG) material;
36.
Evaluation f a Rapid Prototyping Process for Silicon Microstructures
机译:
评估F用于硅组织的快速原型工艺
作者:
Stefan Bange
;
Mark Herding
;
Peter Woias
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
micro rapid prototyping;
wet etching;
laser ablation;
silicon;
37.
Batch fabricated silicon electrostatic micropositioner for dual stage actuation
机译:
用于双级致动的批量制造的硅静电微素
作者:
M. Del Sarto
;
Simone Sassolini
;
Lorenzo Baldo
;
Mauro Marchi
;
Martin J. McCaslin
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
MEMS;
actuator;
electrostatic;
silicon process;
FEM;
hard disk drive;
dual stage;
bandwidth;
38.
Borosilicate Glass Based X-ray Masks for LIGA Microfabrication
机译:
基于硼硅酸盐的玻璃X射线口罩,用于LIGA微型制剂
作者:
Yohannes M. Desta
;
Martin Bednarzik
;
Michael Bryant
;
Jost Goettert
;
Linke Jian
;
Yoonyoung Jin
;
Daejong Kim
;
Sanghoon Lee
;
Bernd Loechel
;
Heinz-Ulrich Scheunemann
;
Zhengchun Peng
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
X-ray mask;
borosilicate;
glass;
LIGA;
39.
Fabrication of PZT actuated cantilevers on silicon-on-insulator wafers for a RF microswitch
机译:
用于RF微型开关的绝缘体晶圆上的PZT致动悬臂的制造
作者:
Hong Wen Jiang
;
Paul Kirby
;
Qi Zhang
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
PZT thin film;
MEMS;
RF switch;
SOI;
RIE;
DRIE;
BOE;
micromachining;
cantilever;
40.
Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF_2 Etching of Si
机译:
SI的XEF_2蚀刻的表面粗糙度和光圈尺寸效应
作者:
K. Sugano
;
O. Tabata
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
41.
Chip on flex with 5-micron features
机译:
芯片在柔性上,具有5微米特征
作者:
Peter C. Salmonauthor_name/
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
WLP;
stud bump;
hermetic module;
shielded module;
glass panel manufacturing;
release layer;
compliant packaging;
thermal package;
high-density interconnect (HDI);
Tester-On-Board (TOB);
42.
Cyclotene~R Diaphragm for MEMS-Based IR Detectors
机译:
基于MEMS的IR探测器的Cyclotene〜R隔膜
作者:
Shuwen Guoauthor_name/
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
cyclotene~R;
BCB;
diaphragm;
thermopile;
infrared detector;
43.
WAFER THINNING FOR HIGH-DENSITY, THROUGH-WAFER INTERCONNECTS
机译:
用于高密度,通晶圆互连的晶片变薄
作者:
L.Wang
;
C.C.G.Visser
;
C.de Boer
;
M. Laros
;
W.van der Vlist
;
J. Groeneweg
;
G.Craciunt
;
P.M. Sarro
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
wafer thinning;
lapping;
chemical-mechanical polishing;
through-wafer interconnects;
44.
DESIGN CONCEPT FOR TONG GRIPPERS FOR AUTOMATED MICRO-ASSEMBLY
机译:
自动微套装钳夹具的设计概念
作者:
Jochen Schlick
;
Detlef Zuehlke
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
micro-assembly;
micro gripper;
gripping force;
flexure hinges;
spring guiding device;
45.
A blazed silicon grating made of (111) silicon wafer
机译:
由(111)硅晶片制成的闪闪发光的硅光栅
作者:
Hui Ju
;
Ping Zhang
;
Shurong Wang
;
Jingqiu Liang
;
Yihui Wu
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
(111) silicon wafer;
blazed grating;
bulk silicon technology;
microfabrication;
MEMS;
wet etching;
46.
Planarization of a CMOS die for an integrated metal MEMS
机译:
用于综合金属MEMS的CMOS模具的平坦化
作者:
Hocheol Lee
;
Michele H. Miller
;
Thomas G. Bifano
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
chemical mechanical planarization;
MEMS mirror array;
sputtering;
polishing;
MEMS integration;
47.
Chemical Mechanical Planarization of Large Area Wells for MEMS and MOEMS
机译:
MEMS和MEMS的大面积孔的化学机械平面化
作者:
Juikun Lee
;
Heinz Busta
;
Ronald Myers
;
Tina Dear
;
Mehmet R. Dokmeci
;
Jonathan Bernstein
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
CMP;
RME;
planarization;
large area well;
high aspect ratio;
48.
Novel Through-Die Connections for MEMS Applications
机译:
用于MEMS应用的新型通芯连接
作者:
S. Kommera
;
W. Woods
;
J.P. Krusius
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
through-die hole;
deep silicon etching;
CMP based patterning;
patterning on stepped surface;
micro-fluidics;
3D integration;
49.
Alignment and fabrication of micro-optic assemblies using fiber fusion
机译:
使用纤维融合进行微光学组件的对准和制造
作者:
James M. Florence
;
James T. Hoggins
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
fiber fusion;
micro-optic assembly;
fiber optic components;
50.
NEXUS: Roadmaps Applications
机译:
Nexus:路线图和应用
作者:
Ayman El-Fatatry
;
BAE SYSTEMS
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
51.
Evaluation of a Rapid Prototyping Process for Silicon Microstructures
机译:
硅微观结构快速原型工艺评价
作者:
Stefan Bange
;
Mark Herding
;
Peter Woias
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
micro rapid prototyping;
wet etching;
laser ablation;
silicon;
52.
High Resolution X-ray Masks for High Aspect Ratio Microelectromechanical Systems (HARMS)
机译:
高纵横比微机电系统(危害)的高分辨率X射线掩模
作者:
Lin Wang
;
Flavio Aristone
;
Jost Goettert
;
Jong Ren Kong
;
Keith Bradshaw
;
Todd Christenson
;
Yohannes M. Desta
;
Yoonyoung Jin
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
e-beam lithography;
x-ray lithography;
intermediate mask;
HARMS;
53.
Scalloping Minimization in Deep Si Etching On Unaxis DSE Tools
机译:
Unaxis DSE工具深度Si蚀刻中的扇形最小化
作者:
Shouliang Lai
;
Dave Johnson
;
Russ Westerman
;
John Nolan
;
David Purser
;
Mike Devre
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
deep si etch;
MEMS devices;
scallop minimization;
smooth sidewall;
gas switching;
54.
Micromolding and sintering of nanoparticle preforms into microparts
机译:
纳米粒子的微旋转和烧结预制成微开发体
作者:
Alfredo M. Morales
;
Terry J. Garino
;
Brad L. Boyce
;
Linda A. Domeier
;
Anne K. Gutmann
;
Dorrance E. McLean
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
LIGA;
replication;
nanoparticle;
micromolding;
microcasting;
sintering;
injection molding;
55.
Polymer protective coating for wet deep silicon etching processes
机译:
用于湿深硅蚀刻工艺的聚合物保护涂层
作者:
Mary Spencer
;
Kim Ruben
;
Chenghong Li
;
Paul Williams
;
Tony Flaim
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
deep silicon etching;
potassium hydroxide etchant;
hydrofluoric acid;
bulk micromachining;
56.
Microfabrication of ultra-thick SU-8 photoresist for microengines
机译:
用于微源的超厚SU-8光刻胶的微细加工
作者:
Peng Jin
;
Kyle Jiang
;
Nianjun Sun
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
microengine;
actuator;
ultra-thick SU-8 photoresist;
transmission spectra;
high aspect ratio;
57.
Embossing of microscale features in Pb and Zn
机译:
PB和Zn中的微观特征的压花
作者:
Dean J. Guidry
;
Dong Mei Cao
;
Tao Wang
;
Wen Jin Meng
;
Kevin W. Kelly
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
MEMS;
HARMs;
LIGA;
molding;
lead;
pb;
zinc;
zn;
DLC;
embossing;
58.
Thick SU-8 Photolithography For BioMEMS
机译:
浓苏-8的生物米光刻
作者:
Marc Rabarot
;
Jacqueline Bablet
;
Marine Ruty
;
Matthieu Kipp
;
Isabelle Chartier
;
Christophe Dubarry
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
SU-8;
high aspect ratio;
Ultra-thick resist;
multilevel microstructures;
stress;
UV-LIGA;
MIEL;
DRIE;
59.
Direct thin-film imaging, DTFI, based on PMOD~(TM) (photochemical metal-organic deposition) methodology
机译:
直接薄膜成像,DTFI,基于PMOD〜(TM)(光化学金属 - 有机沉积)方法
作者:
Harold O. Madsen
;
Seigi Suh
;
Leo G. Svendsen
;
Shyama P. Mukherjee
;
Paul J. Roman
;
Michael A. Fury
;
Katy Ip
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
60.
Fabrication of Microchannels for Compliant Wafer Level Packaging Using Sacrificial Materials
机译:
使用牺牲材料的兼容晶片水平包装的微通道的制造
作者:
H. A. Reed
;
J. P. Jayachandran
;
R. A. Shick
;
L. F. Rhodes
;
J. Krotine
;
E. Elce
;
S. A. Allen
;
P. A. Kohl
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
61.
Thin Film Metal Surface Micromachining: a new enabling foundry technology
机译:
薄膜金属表面微机芯:一种新的铸造铸造技术
作者:
H. van Heeren
;
T. Andringa
;
K. Attenborough
;
M. Eisenberg
;
P. Meeuws
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
62.
Advanced Dry Etching for Oxide Deep-Trench
机译:
用于氧化物深沟的先进的干蚀刻
作者:
Yveline GOBIL
;
Patrice NOEL
;
Muriel MOREAU
;
Marc van der REIJDEN
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
dry etching;
silicon dioxide;
trench;
selectivity;
profile;
aspect ratio;
etch stop;
microsystems;
63.
Microstructure and mechanical properties of nickel microparts electroformed in replicated LIGA molds
机译:
镍镍微粉镍镍镍镍镍铬镍的微观结构和力学性能
作者:
Alfredo M. Morales
;
Linda A. Domeier
;
Marcela Gonzales
;
John Hachman
;
Jill M. Hruby
;
Steven H. Goods
;
Dorrance E. McLean
;
Nancy Yang
;
Andrew D. Gardea
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
LIGA;
electroforming;
replication;
embossing;
injection molding;
microscreen;
64.
Improved Resolution of Thick Film Resist
机译:
改进的厚膜抗蚀剂分辨率
作者:
Yoshihisa Sensu
;
Atsushi Sekiguchi
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
2003年
关键词:
Thick-film resist;
resolution;
Pre-bake;
solvent;
N_2;
PAC;
benard cell;
development rate measurement system;
mask aligner;
lithography simulations;
65.
Process Conditions and Lithographic Performance of Arch Durimide~(TM) Polyimides in the Ultra-thick Film Regime
机译:
拱杜酰亚胺〜(TM)聚酰亚胺在超厚薄膜制度中的过程条件和光刻性能
作者:
S. I. Misat
;
R. Pellens
;
R. Voets
;
A. van Klaveren
;
J.P. v/d Heuvel
;
L. Peterson
;
P. Waterson
;
D. Racicot
;
D. Roza
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
关键词:
MEMS;
polyimides;
durimide;
thick resists;
processing;
66.
Micropackaging Technologies for Integrated Microsystems: Applications to MEMS and MOEMS
机译:
集成MicroSystems的微量化技术:MEMS和MEMS的应用
作者:
Khalil Najafiauthor_name/
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
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2003年
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