Virginia Polytechnic Institute and State University.;
机译:基于纳米多孔氧化铝膜的MEMS晶圆级薄膜真空封装的设计,制造和测试
机译:MEMS设备晶圆级真空封装的制造和测试
机译:制造用于晶圆级RF MEMS封装的无空隙铜填充玻璃通孔
机译:具有圆形散热器的晶圆级封装MEMS皮拉尼真空计的设计与制造
机译:用于RF-MEMS封装应用的液晶聚合物(LCP)基板中微孔的制造和测试。
机译:使用预图案化BCB聚合物的RF MEMS应用的晶圆级封装方法
机译:基于晶圆级真空封装MEMS谐振器的高分辨率应变传感器的制造