机译:基于光学邻近效应校正的受限光学邻近效应校正模式生成-基于模型的光学邻近效应校正中的可制造性规则设计
机译:通过10nm节点工艺的混合光学邻近效应校正建模和收缩校正技术提高光学邻近效应校正模型的准确性
机译:用于模拟布局移植的基于过程变化的基于规则的光学邻近校正
机译:增强光学邻近校正的规则,以改善过程纬度
机译:使用增强的过程,邻近选择和基于Java的协作编写工具来改进Internet上的分布式协作编写。
机译:使用基于规则的自然语言处理来改善生物医学文本中的疾病正常化
机译:反向光刻作为DFm工具:利用基于模型的辅助特征放置,快速光学邻近校正和光刻热点检测加速设计规则开发
机译:利用并行光电图像处理和全局光流诊断技术确定平面剪切层光学相位校正