基于规则的光学邻近矫正中规则的相关处理(英文)

摘要

讨论了如何选择适当的规则 ,如何建立简洁实用的规则库 ,如何应用规则库 .提出了四种主要的光学邻近矫正规则 ,在实验结果中列举了规则库中的部分数据 .利用规则矫正后的版图光刻得到的硅片图形有了明显的改善 .规则库的自动建立部分 (OPCL)是基于规则的光学邻近矫正系统的重要组成部分 .