机译:NH_3氮化硅的原位快速N_2O热氧化制备超薄高质量叠氮化物/氧化物栅介质
机译:通过远程等离子体增强CVD和沉积后快速热退火制备的具有氮化的Si-SiO / sub 2 /界面的超薄氮化硅/氧化物堆叠栅极电介质的PMOSFET的性能和可靠性
机译:具有超薄等离子氮化SiON栅极电介质的p沟道金属氧化物半导体场效应晶体管在负偏置温度不稳定性下的界面陷阱和氧化物电荷产生
机译:Sion栅极介电形成通过快速热氧化氮化硅。
机译:快速热CVD高k栅极电介质和CVD金属栅电极的技术开发和研究,用于未来的ULSI MOSFET器件集成:氧化锆和氧化ha。
机译:基于藻酸锌/氧化石墨烯的生物纳米复合水凝胶:形貌结构形态热行为/降解和介电性能
机译:具有超薄等离子体 - 氮化SiON电介质的P沟道金属氧化物半导体场效应晶体管负偏置温度不稳定性下的界面阱和氧化物电荷产生
机译:通过快速热/微波远程等离子体多处理形成mOs(金属氧化物半导体)栅极