机译:利用神经网络表征低压温度对PECVD沉积氮化硅膜折射特性的影响
机译:使用神经网络对用于太阳能电池的PECVD氮化硅膜的生长进行建模
机译:利用神经网络方法表征Pecvd沉积的氮化硅膜的压力控制电荷密度
机译:使用神经网络对PECVD氮化硅膜的FTIR光谱进行建模以用于心血管压力传感器
机译:沉积后注入和退火对PECVD沉积氮化硅膜性能的影响
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:衬底温度对pECVD制备氮化硅薄膜性能的影响