FTIR; Modeling; neural networks; plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD); silicon nitride film;
机译:使用神经网络对用于太阳能电池的PECVD氮化硅膜的生长进行建模
机译:利用神经网络方法表征Pecvd沉积的氮化硅膜的压力控制电荷密度
机译:PECVD氮化硅膜的神经网络建模
机译:神经网络使用神经网络模拟PECVD氮化硅膜的FTIR光谱,用于心血管压力传感器应用
机译:增强对PECVD氮化硅特性的了解和控制及其在多晶硅太阳能电池中的应用
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:微波激发pECVD氮化硅层的FTIR分析