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机译:低剂量SIMOX晶圆的能量依赖性
Chen M.; Chen J.; Zheng W.; Li L.; Mou H.C.; Lin Z.X.; Yu Y.H.; Wang X.;
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机译:低剂量低能耗SIMOX材料的结构和电气特性
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机译:低剂量SIMOX中掩埋氧化物质量的控制
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