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机译:高质量小剂量SIMOX晶圆
SOI; SIMOX; annealing; oxidation; Si;
机译:通过内部热氧化(ITOX)工艺制造的小剂量SIMOX晶圆的技术创新
机译:Simox晶片(硅晶片,表面硅薄膜很薄,通过注入的氧气与身体隔离)
机译:SIMOX晶片:(具有通过注入氧气与身体分离的表面硅薄膜的硅晶片)
机译:SIMOX技术的现状:高质量的itox-SIMOX晶片及其在四分之一微米CMOS LSIS的应用
机译:低剂量低能耗SIMOX材料的结构和电气特性。
机译:金属有机化学气相沉积法在Ni(111)上高质量地生长六方氮化硼的晶片规模和选择性区域
机译:SIMOX晶片中掩埋氧化物层的原子结构
机译:用于全耗尽硅绝缘体的低剂量低能量sImOX