Metrology; Logic gates; Silicon germanium; Epitaxial growth; Silicon; Silicon compounds; Monitoring;
机译:异常硅 - 锗(SiGe)在FinFET中外延生长
机译:用于16/14 nm节点FinFET技术的具有高k和金属栅极的SiGe选择性外延工艺集成的研究
机译:高效溶液处理的红外光伏电池:从溶液生长过程中通过量子点间桥接实现的平面化全无机本体异质结器件
机译:高密度外延不需要的生长及其对FinFET过程的平坦化影响
机译:有限反应处理在原子层外延上的应用:使用有机金属前体外延生长碲化镉。
机译:通过RPCVD在低温下基于高质量的Si基外延生长的过程步骤
机译:用于高稳定光电探测器的MAPBI3单晶膜的溶液处理的外延生长
机译:配置相关的反应结合生长过程对III-V分子束外延生长的第V族压力和基板温度依赖性以及反射高能量动力学的影响