Chemically amplified resist; FIB-SEM; XPS; carbonaceous contamination; e-beam radiation; outgassing;
机译:减少乙缩醛光刻中乙缩醛基化学放大抗蚀剂中的除气段
机译:暴露于248nm光期间化学放大抗蚀剂除气的原位测量
机译:用于电子束光刻的高分辨率图案化的新型化学增强抗蚀剂
机译:电子束辐射下化学放大抗蚀剂脱气引起的光学系统含碳污染物的研究
机译:极高的紫外线抗蚀剂除气作用及其对附近光学器件的影响。
机译:批准剂量的电子束辐照对紫菜干制品的微生物和理化性质的影响及其辐照状态的检测
机译:储存引起的除气有机污染物对351 nm石英光学元件的激光诱导损伤的影响
机译:真空系统的辐射净化(辐射诱导放气)。最终报告,1976年9月15日 - 1977年11月14日