disc drives; hard discs; servomechanisms; control system synthesis; micropositioning; microactuators; tracking; hard disk drive; high bandwidth HDD tracking; microelectromechanical system; moving slider MEMS microactuator; bipolar microactuator; slider grounding; microactuator fabrication technique; sidewall bonding pads; open loop servo bandwidth; sampling rate; server class HDD; dual-stage control; 8 kHz;
机译:用于磁硬盘驱动器跟踪伺服器的高带宽,高精度旋转微执行器
机译:使用LIGA工艺的静电微致动器,用于硬盘驱动器的磁头跟踪系统
机译:高磁道密度硬盘驱动器的压电多层微致动器
机译:高带宽硬盘驱动器跟踪使用移动滑块MEMS微致动器跟踪
机译:硬盘驱动器中基于头的微执行器的未来
机译:带有MEMS密码锁的便携式硬盘加密/解密系统的开发
机译:在硬盘驱动器中使用mEms微处理器进行悬架振动补偿