三维微硅加速度传感器的设计与制作

摘要

该文详细介绍了一种采用固梁结构的电容式三维微硅加速度传感器的结构及工作原理，分析了设计所需考虑的各种因素，最后介绍了其工艺实现方法。该文所设计的三维微硅加速度传感器，结合中三个加速度计的工作方式与对三个轴向加速度的测试方法是统一的，三个方向的加速度测量范围为±10g(100m/s<'2>)左右。