一种提高电容式硅微加速度传感器输出稳定性的闭环电路

摘要

本发明属于传感器技术领域，提供了一种提高电容式硅微加速度传感器输出稳定性的闭环电路，包括加速度计，所述加速度计包括由上极板、下极板和中间质量块构成的差分电容；还包括检测电路，所述检测电路包括电荷放大电路、差分放大电路、PI控制电路、第一方波生成电路、第二方波生成电路和开关信号生成电路；所述第一方波生成电路和第二方波生成电路分别生成频率相同的反馈电压±V_F和偏置电压V_R，反馈电压±V_F、偏置电压V_R和差分电容两端的激励电压±V共同作用于差分电容产生静电力。本发明将直流形式的偏置电压和反馈电压改为交流方波形式，从而减少电荷在介质层中的积累，达到提升输出电压的稳定性的目的。