Polysilicon heaters; microheaters; micromachined heaters; MEMS-CMOS process;
机译:用于气体传感的悬浮膜上的多晶硅微型加热器的设计和电热模拟
机译:集成MEMS气体预浓缩器的硅微加热器的设计,制造和表征
机译:多晶硅沉积对功率多晶硅发射极双极晶体管制造的影响
机译:硅中多晶硅微热器的设计,制作和测试
机译:多晶硅-氮氧化物-氧化硅(SONOS)非易失性半导体存储器件的设计,制造和表征。
机译:单晶硅晶片中单片集成三轴高冲击加速度计的设计制造和测试
机译:独立式多晶硅微型加热器在固体推进剂微型推进器中用作点火器的可靠性
机译:pLZT上二氧化硅激光熔硅中多晶硅栅FET的制备