机译:利用应力集中区域技术改善悬臂式硅微加速度传感器的性能
Armament Research and Development Establishment, Pune-411 021;
micro accelerometer; piezoresistive micro sensor; stress concentration regions; inertial sensor; acceleration sensor; cantilever-type sensor;
机译:使用应力集中区域技术改善悬臂式硅微加速度传感器的性能
机译:优化悬臂式微加速度传感器的性能
机译:悬臂式微加速度传感器的性能优化
机译:感应元件纳米应力集中区压阻微加速度传感器的灵敏度增强
机译:应用于硅微电机结构定标性能的新型性能分析技术。
机译:采用单侧批量微加工技术的压力加2轴(X / Z)加速度复合TPMS传感器的片上集成
机译:关于具有应力集中区域的压阻式硅悬臂梁的设计,用于扫描探针显微镜应用