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裘安萍; 苏岩; 施芹; 黄丽斌;
南京理工大学机械工程学院,南京,210094;
东南大学仪器科学与工程系,南京,210096;
硅微振梁式加速度传感器; 微杠杆; 放大倍数;
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机译:硅单块微可控硅的可靠性手册1 - 整体微观结构的应用
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