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真空微电子压力传感器及其特性研究

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介绍了作者在真空微电子压力传感器研究方面所做的工作,以及最新研究进展和实验结果,并就真空微电子压力传感器的优点及其发展阐述了个人观点.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|285-287|共3页
会议地点重庆
作者
夏善红; 陈绍凤;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类设计;
关键词
真空微电子; 压力传感器; 阴极结构; 封装;
入库时间 2022-08-17 10:21:37

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