真空微电子压力传感器的研究

摘要

压力是过程自动化五大参量中的首要参量，作为压力信息获取的核心元件——压力传感器，在石油、化工、冶炼、电力、仪器仪表、机械、汽车、智能结构、航空航天、国防等领域中是必不可少、量大面广的基础元件，已成为现代信息技术的重要组成部分，在当代科技领域中占有十分重要的地位。特别是从80年代末以来，微型电子机械系统(MEMS)技术的崛起，从根本上改变了许多传统压力传感器的设计思想和制造方法，为压力传感器的微型化、集成化、智能化的研究提供了新的技术基础。现在，世界各国已将探索集成化、新原理、新结构、新功能、高性能的压力传感器及系统作为研究开发压力传感器的重点。本文在重庆市科技“十五”项目的资助下，提出利用微电子技术、MEMS技术和真空电子技术相结合的方法，研究一种带过保护功能的真空微电子压力传感器。该压力传感器由带过保护的场致发射阴极锥尖阵列、弹性阳极膜、绝缘层和真空微腔所构成，具有温度稳定性好、抗辐射、快响应、高灵敏、体积小、二次仪表简单和可批量生产等优点，具有广泛的应用市场。

目录

1 概论

2 半导体的场致发射的相关理论

3 真空微电子压力传感器系统的设计和仿真模拟

4 真空微电子压力传感器的研制和实验结果

5 结论

致谢

参考文献

附录