一种真空微电子压力传感器

摘要

本发明公开了一种真空微电子压力传感器，包括传感器主体，传感器主体包括定位底座和壳体，定位底座表面内部设置有两个联通槽，联通槽内部设置有电极引线，电极引线一端和引线端子连接在一起，电极引线另一端和金线电极连接在一起，金线电极分别和第一硅膜片、第二硅膜片电性连接在一起，第二硅膜片安装在硅杯表面，硅杯表面设置有放射尖端，第一硅膜片、第二硅膜片之间相互对应，定位底座内部设置有进气通道，第一硅膜片表面设置有弹性硅片，进气通道通过分支管将气体排入到弹性硅片表面，壳体顶端设置有传压片，该装置不仅可以检测外部的直接接触压力，而且可以精确的检测气流产生的微小压力，实用性强，值得推广。