硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试

摘要

封装、测试了硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器,在计算机模拟计算的基础上,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试,得出实物测试场发射电流曲线(开启电压低,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样,电压45V时发射电流可达到86mA,平均每个硅尖为21μA)、压力特性曲线(呈线性变化,与计算机模拟计算的曲线相近)及灵敏度数据.电压1.5V即可测试并且其压力特性成线性变化,灵敏度为0.3μA/kPa.