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硅尖阵列—敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试

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作者封装、测试了硅尖阵列—敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器,在计算机模拟的计算的基础上,对封装好的真空微电子压力传感器,进行了实物测试,得出实物测试场致发射电流曲线、压力特性曲线及灵敏度数据.

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来源
《第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议》|2001年|55-58|共4页
会议地点西安
作者
陈绍凤; 夏善红;
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作者单位

中国电子学会;

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类结构和元部件;
关键词
真空微电子; 压力传感器; 模拟测试; 压力特性; 测试;
入库时间 2022-08-17 10:21:26

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